用制冷機低溫泵獲得清潔無油高真空
Production of Dry-Clean High-Vacuum with Refrigerator's Cryopumps
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摘要: 制冷機低溫泵以其抽速大和無污染的特點,在各行各業(yè)得到了廣泛的應用.文章介紹了制冷機低溫泵的工作原理、結(jié)構(gòu)和特點,以及在國外空間環(huán)境模擬設備上的使用情況.著重介紹了自主設計生產(chǎn)的制冷機低溫泵在國內(nèi)最大的空間環(huán)境模擬設備中調(diào)試和測量的情況,為獲得清潔無油高真空取得了良好的效果.